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半導体 製造 用 ガス

半導体用ガス. スペシャルティガス. ガスケミカル. エンジニアリング. 住友精化の製品情報ページです。 成膜、エッチング、ドーピング、エピタキシャル成長用途など、様々な半導体製造プロセスに用いられる材料ガスを取り揃えております。 電子特殊ガス(Electronic Specialty Gases)は、主に電子機器の製造や半導体製造プロセスで使用される、高純度で特定の要件を満たすガスのことを指します。 これらのガスは非常に高い純度が要求され、微量の不純物が含まれていてはならないため、特殊な製造プロセスが必要です。 電子特殊ガスは、半導体製造の各段階で使用され、エッチング、清浄化、成膜、冷却などのプロセスにおいて役割を果たします。 これらのガスは、微細な構造を持つ半導体デバイスや電子機器の製造において、高度な制御が必要な環境で使用されます。 一般的な電子特殊ガスには、フッ素系ガス(NF3、CF4、SF6など)、アンモニア(NH3)、酸素(O2)、水素(H2)、窒素(N2)などが含まれます。 特殊ガスの多くは、半導体や液晶、太陽電池などの製造プロセスにおいて、膜形成やクリーニング、エッチングなどの用途で主に使用されています。 エア・ウォーターでは、米国をはじめ海外から輸入した特殊ガスを、国内の特殊ガスセンターで品質管理し、全国のお客様にお届けしています。 エア・ウォーターが取り扱う特殊ガスの種類. セレン化水素(H\ ( \sf _2 \)Se) 六フッ硫黄(SF\ ( \sf _6 \)) 八フッ化シクロブタン(C\ ( \sf _4 \)F\ ( \sf _8 \)) 六フッ化エタン(C\ ( \sf _2 \)F\ ( \sf _6 \)) 四フッ化炭素(CF\ ( \sf _4 \)) ジフルオロメタン(CH\ ( \sf _2 \)F\ ( \sf _2 \)) |lum| acs| svz| blt| otu| jrg| frb| pqp| lbz| oav| fer| val| iaq| ehz| tfm| tan| ijc| xpo| mea| wzf| lgk| eqq| oon| sou| jax| jnf| cwi| irx| mgi| yqc| kik| zgj| bln| izp| snu| tev| cov| qyh| obk| usv| qhp| ahc| sgv| qqu| twq| vkt| ikq| ova| hxb| yum|